第0462章 EUV(第2/2页)

这次来霓虹国,孟谦带着关于EUV光刻机的部分研究资料,过来拉联盟来了。

至于目标,自然是霓虹国在EUV领域的领头企业,包括三菱,霓虹国电气股份有限公司,霓虹国电报电话公司,东芝等,而作为现在全球三大浸没式光刻机生产厂家的佳能,虽然在EUV领域没那么厉害,但肯定也入局了,而且是最积极的那个,帮着孟谦“忽悠”自家企业。

毕竟佳能好不容易跻身全球光刻机第一梯队了,不想被挤下来了啊。

而为了不被挤下来,现在佳能只能跟着大风集团统一战线,如果这个时候跟大风集团搞分裂,那就等着被米国弄死吧。

有大风集团带来的资料加上佳能拼了老命的牵线搭桥,孟谦最终成功成立了华霓EUV研发同盟,除了霓虹国这边十几家企业和机构,华夏这边同样有大风集团,沪上微电子,清华,长光所,45所等十多家企业和机构。

消息一出来,尼康是第一个坐不住的,第一时间跑去霓虹国半导体协会投诉,你们搞EUV居然不带上我尼康?你们是不是脑子有问题?

然而,根本没人搭理尼康,这联盟是人家大风集团跟佳能牵头的,就是不想带你怎么了……

而在联盟消息出来的时候,米国那边自然也做出了反应,英特尔现在也没办法阻止两国的合作,但是英特尔高调的跳出来表示他们在EUV领域取得了巨大的突破,还出了一份可以公开的论文,上面有写到EUV光刻机的三大难题,其中最大的问题就是光源。

把光源的研究写的非常非常难,虽然说的也是实话,EUV穿透物体时散射吸收都非常厉害,这使得光刻机需要非常非常强的光源,这个难度是巨大的。连空气都能吸收EUV,所以机器内部还得做成真空的。

而且由于光刻精度是几纳米,EUV对光的集中度要求极高,相当于拿个手电照到月球光斑不超过一枚硬币。反射要求镜子长30cm起伏不到0.3nm,这相当于是燕京到沪上做根铁轨起伏不超过1毫米。

英特尔这些公开论文就是要让世人明白EUV光刻机有多难,然后说英特尔取得了重大突破,至于什么突破,含糊其辞,用一句机密就解释了。

结果就在英特尔发公告的这一天,华夏突然宣布,将KBFF晶体列为战略资源,不再对外出口……

孟谦看着新闻,突然有些莫名的兴奋,“看看谁先搞出EUV光刻机吧……”

……